1.电子工业用作氮化硅、外延材料等的摻杂源。半导体超纯硅原料,是半导体工业中单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化学气相沉积工艺的硅源,并广泛用于太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维及特种玻璃等的生产研制。 2. 用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学气相沉积、非晶硅薄膜淀积。
硅烷
guī wán
更新时间:2024-04-18 19:02:21
- 常用名硅烷英文名silane
- CAS号7803-62-5分子量32.11730
- 密度1.114沸点-112ºC
- 分子式H4Si熔点-185ºC
- MSDS闪点N/A
- 符号信号词
硅烷 用途