三氯氢硅

1.沸腾氯化法 硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉，与通人炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝，制得三氯氢硅成品。其反应方程式如下：

图XIV-13 三氯硅烷的制备装置

2.使用如图所示的装置，将硅(97%)填充到石英反应管中，边通入干燥氯化氢，边反应。接受器用冷冻剂冷却。往氯化钠中加入浓硫酸产生氯化氢。反应前，将炉加热，通入干燥氢气使系统干燥，接着加热到300℃，送入氯化氢使其反应。蒸馏反应产物，首先蒸出的是溶解的氯化氢，接着蒸出产物。残余组分为四氯化硅。如有必要，可再次蒸馏进行提纯。